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D07-7K氣體質量流量控制器

簡要描述：

D07-7K氣體質量流量控制器,D07系列模擬質量流量控制器
質量流量控制器（MFC）用于對氣體的質量流量進行精密地測量和控制。廣泛用于電子工藝設備、真空鍍膜、石油化工、冶金、制藥、光纖熔煉、分析測量儀器、制氣配氣等行業(yè)。

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D07-7K氣體質量流量控制器,D07系列模擬質量流量控制器

D07-7K氣體質量流量控制器,D07系列模擬質量流量控制器簡介：

質量流量控制器(MFC)用于對氣體的質量流量進行精密地測量和控制。廣泛用于電子工藝設備、真空鍍膜、石油化工、冶金、制藥、光纖熔煉、分析測量儀器、制氣配氣等行業(yè)。

,D07系列模擬質量流量控制器技術參數：

產品型號	D07-7K
產品類型	普通型
流量量程	20sccm,30sccm,50sccm,100sccm,200sccm,300sccm,500sccm,1slm,2slm,3slm,5slm,10slm
產品精度	±1％F.S.
重復精度	±0.2% FS
線性	±1％F.S.
響應時間	≤4sec
工作溫度范圍	(5~45)°C
耐壓	3MPa
密封材料	氟橡膠Viton,氯丁橡膠(耐氨橡膠) Neoprene
輸入輸出信號	(0~5)VDC
電源	±15V
閥類型	常閉
溫度系數	- 無 -
零點飄移指標	- 無 -
電氣連接	D sub 15 pins Female
工作壓差范圍	(0.1～0.5) MPa
漏率	1×10-8atm•cc / sec He（1×10-9 Pa•m3 / sec He）
標準接頭形式	雙卡套Φ8,雙卡套Φ6,雙卡套Φ3,雙卡套1/8”,φ4(內)×1軟管接頭,VCR1/4”,雙卡套1/4”,φ6(內)×1軟管接頭
表面化學成分	- 無 -
表面粗糙度	- 無 -
抗電磁干擾	- 無 -
重量	1.1Kg