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S49 33/MT高低壓氣體質量流量計,質量流量控制器高/低耐壓可選Z大量程30L/min流量規(guī)格：（5,10,30,50,100,200,300,500）mL/min響應時間：≤8 s（T95）準確度：± 1.0% F.S
S49 33/MT高低壓氣體質量流量計,質量流量控制器
S49 33/MT高低壓氣體質量流量計,質量流量控制器技術指標
| 編號 | 項目 | S49 33/MT | ||
| 1 | 流量規(guī)格 | (5,10,30,50,100,200,300,500)mL/min (1,2,3,5,10) L/min | (15,20,30) L/min | |
| 2 | 調節(jié)閥類型 | 電磁調節(jié)閥 | ||
| 3 | 調節(jié)閥靜止位置 | 常閉 | ||
| 4 | 準確度 | ± 1.0% F.S | ± 2.0% F.S | |
| 5 | 線性 | ±1.0 % F.S，±2.0 % F.S | ||
| 6 | 重復精度 | ±0.2 %F.S | ||
| 7 | 響應時間 | ≤8 s（T95） | ||
| 8 | 工作壓差范圍 | (50 ～ 300) kPa； (10～30)L/min (100～300)kPa | ||
| 9 | 耐壓 | 3 MPa ﹑ 10 MPa | ||
| 10 | 工作環(huán)境溫度 | 5℃ ～ 45℃ | ||
| 11 | 材料 | 不銹鋼316L | ||
| 12 | 標準密封材料 | Viton®﹑EPDM, 或其他 | ||
| 13 | 漏率 | 1×10-8 Pa.m3/s | ||
| 14 | 接頭 | Ф3mm～Ф10mm, 1/4″Swagelok(或VCR)， 軟管接頭Ф4mm～Ф10mm 或其它 | ||
| 15 | 輸入輸出信號 | 0 V ～ +5.00 V (輸入阻抗大于100K, 輸出電流不大于3mA) | ||
| 16 | 電源 | +15 V 50 mA -15V 200 mA | ||
| 17 | 外形尺寸 mm | 134×134×38 | ||
| 18 | 重量 kg | 1.2 | ||
,質量流量控制器安裝尺寸圖
S49 33/MT連接線
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